上海CVD气相沉积炉

CVD上海气相沉积炉为立式真空感应加热炉，它由炉体、炉盖、真空系统、电气系统、加气系统、和水冷系统等部分组成。炉身采用水冷夹层结构。炉内装有感应线圈，发热体也是石墨材料制成石墨坩埚。发热体外围是由碳毡组成的保温装置和由刚玉组成的隔热绝缘装置。测温元件采用热电偶，半自动/手动控制炉温，采用智能型温度表控温。

上海CVD气相沉积炉技术特征：

CVD气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足大型工件化学气相沉积处理需求；

CVD气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；

CVD气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

CVD气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

CVD气相沉积炉能有效处理生产过程中产生的各种规格杂质。