上海KY-R-LQC400-6M型CVD炉

上海KY-R-LQC400-6M型CVD炉是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、研究所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想设备。设备采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失。同时采用轻质炉膛，热效率高，能耗低，炉内温度均匀性好，可延长设备的使用效率。

KY-R-LQC400-6M型CVD炉产品特点

炉内密封性及佳，可通入氮气、乙炔、甲烷、丙酮等混合气体。

组合进料方式，进料量精准控制。

配置电子流量计、蠕动泵;炉内温度、压力、流量自动控制。

轻质炉膛，热效率高，能耗低，炉内温度均匀性好。

PLC全自动控制整套工艺过程，通过触摸屏操作简洁直观。

运行平稳， 宜维护，设备大小可根据需求非标定制。

KY-R-LQC系列连续式CVD炉技术参数

KY-R-LQC系列间歇式CVD炉技术参数