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上海气相沉积炉的特点

来源:http://shanghai.sinokiln.com/news475833.html  发布日期:2020-10-9 9:47:00

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咸阳陶瓷研究院从事上海气相沉积炉研发、生产多年,我公司生产的化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体(如C3H8\CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理。

此款气相沉积炉的特点:

化学气相沉积炉采用的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

同时采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

气相沉积炉采用防腐蚀真空机组设计,持续工作时间长,生产效率高,维修率低。

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