上海气相沉积炉的特点

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咸阳陶瓷研究院从事上海气相沉积炉研发、生产多年，我公司生产的化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如C3H8\CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理。

此款气相沉积炉的特点：

化学气相沉积炉采用的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

气相沉积炉采用防腐蚀真空机组设计，持续工作时间长，生产效率高，维修率低。

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