上海气相沉积炉是什么

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气相沉积炉是很多人都听说过的一个设备，但是可能大家并不了解气相沉积炉究竟是什么，那么下面就和咸阳陶瓷研究院一起来看一下吧。

气相沉积炉的作用是在高温下气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

气相沉积炉这种技术刚开始发展时是作为涂层的手段而开发的，但是目前随着发展已经不只是应用于耐热物质的涂层了，现在应该已经应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个还比较广泛的领域。

气相沉积炉的特征在于：高熔点物质能够在低温下合成;析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层等。在低温下可以合成高熔点物质。

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图为气氛回转炉

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