上海气相沉积炉有哪些技术特征

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上海气相沉积炉是我公司多年研发生产的设备，气相沉积炉是指在高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术较初是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。

咸阳陶瓷研究院销售的气相沉积炉其技术特征在于：(1)高熔点物质能够在低温下合成;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层等。特别是在低温下可以合成高熔点物质，上海CVD气相沉积炉在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。

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