上海气相沉积炉的核心部件有哪些?

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上海气相沉积炉的核心部件包括：

沉积炉主体：包含加热室、水冷电极、测温热电偶，是处理工件的核心部分。

混气罐：由电动蝶阀、浮子流量计和不锈钢手动截止阀组成，负责气体的混气配比和向沉积炉内定量输送工作气体。

滑阀泵：负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内。

真空电动蝶阀：在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内。

加热磁性调压器：完成炉温的控制。

真空反应室：气相沉积炉属于真空设备，需要在一定真空环境下进行工作。

抽气组件：用于维持炉内的真空环境。

控制面板：用于监控和控制系统的工作参数。

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